1、0引言紅外探測器在3～5■波長范圍內(nèi)具有較高的靈敏度和優(yōu)異的可靠**，因而被廣泛地應用于軍事領域[1]。隨著焦平面陣列的集成度越來越高，芯片關鍵尺寸減小，材料的表面狀態(tài)成為影響紅外探測器器件**能的關鍵因素。其中，鈍化膜直接與芯片表面接觸，因此鈍化膜的質(zhì)量直接決定了紅外器件的**能。
2、鈍化膜淀積在材料表面時會有應力作用于的光敏元上，導致-結(jié)的空間電荷區(qū)發(fā)生彎曲。如圖1中曲線所示，在像元上施加反向偏置電壓時，由于-結(jié)**能的劣化，在-結(jié)周圍更容易產(chǎn)生漏電流，并且隨著偏置電壓的提高，漏電流逐漸增大，像元的電學**能變差。
3、由于應力造成-曲線的劣化，探測器器件中會出現(xiàn)輸出噪聲增大的現(xiàn)象。此外，較大的應力還會影響器件的長期可靠**[2因此，研究鈍化膜的應力對于提升紅外器件的**能具有重要的意義。[1][2，3]圖1光電二極管的特征-曲線從應力的產(chǎn)生原理上分析，應力包括本征。在-基鋼中，作為奧氏體形成元素，具有穩(wěn)定奧氏體的作用。
4、的標準電極電位(-1.18)遠小于的標準電極電位(-0.44)，且在水溶液中形成的氧化物結(jié)構疏松，不具有保護**，因此會降低-基奧氏體鋼的耐蝕**能[1-5]。但是研究發(fā)現(xiàn)，-二元奧氏體鋼在30%溶液中表現(xiàn)出很好的鈍化**能，其表面形成鈍化膜的耐蝕**能與--、--及---奧氏體鋼的相近[6-7]，在-基鋼中加入或均不能提高鋼在溶液中的耐蝕**。由此說明-基鋼在堿**溶液中所形成的鈍化膜中的化合物結(jié)構發(fā)生了變化，該化合物對鈍化膜的耐蝕**能產(chǎn)生了影響。
5、本文利用陽極極化曲線、俄歇電子能譜()以及射線光電子譜()測試技術研究了-25和-24-4-5鋼分別在1/24溶液和30%。--系合金中含有大量降低耐腐蝕**能的元素[1-2]，其在工程應用過程中的表面耐蝕**能遠不能滿足使用要求。電化學陽極鈍化技術可以大幅度提高--系合金在1/24溶液中的耐均勻腐蝕和局部腐蝕的能力[3-4]，在合金鈍化膜溶解與再鈍化過程中，通過延長鈍化處理時間可降低鈍化膜中低耐蝕**元素氧化物的含量，從而提高合金的耐蝕**。
1、研究發(fā)現(xiàn)[5]，鈍化膜晶體結(jié)構內(nèi)存在各種高濃度的點缺陷，如氧空缺和金屬離子空缺等，鈍化膜大多具有半導體**質(zhì)，其離子阻擋層作用與鈍化膜的電子特**密切相關，因此，金屬材料的耐蝕**不僅與鈍化膜的成分結(jié)構有關，更依賴于鈍化膜的電子特**，如平帶電位、施主濃度、受主濃度等，通過測量-曲線可以獲得鈍化膜的電子特**。國內(nèi)外學者[6-9]相繼開展了不銹鋼在各種介質(zhì)中鈍化膜的電子特**研究，定量地解釋了不銹鋼鈍化膜具有優(yōu)異耐蝕**的原因。
2、而有關-基。
